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为的情况下,所有的barc性能达到最优化,更详细看看在
问题是需要。扼要重述基本薄膜反射理论,电场反射系数
(比例反映到事件电场)之间的接口两种材料是一种功能的影响
综合指数折射为两层。垂直入射,反射系数轻
穿过层,我和引人注目层J的公式(这个就不用了)
每个复杂的折射率有实部和虚部( =新泽西州新泽西州-我κ j )和强度

很厚的基板(第3层) 。总反射看不起较第2层,包括思考,从
顶部和底部的barc电影。由此产生的反射率,同时考虑到所有可能的思考,
是公式(也不用翻译)
凡内部透射率, τ发展,是变化的电场,因为它旅社从顶部至底部
该barc ,所给予的公式(不用翻译)
一个层厚度的四
如果角色的第2层是作为一种防反射涂层材料1和第3条,其中一个明显的
规定可能被,以减少总的反射所给予的方程( 2 ) 。如果光线反射关闭
热门的第二层( ρ12 )可以取消光明旅社下来的第2层,反映过第3层,然后
旅行回来了,通过第2层( ρ23τ d
2 )

翻得我吐血..希望能帮到你。有些专业词不太确定,有注释


A.研究工具
自从仿平版印刷技术在1975年问世之后,制造模型(不确定这里的modeling是不是该这样翻)开始变成研究平版印刷的得力工具。以下是几个制造模型在早期对研究带来的帮助。

制造模型曾被用来提倡以使用dyed photoresist,来减少驻波。[1]。对dyed photoresist的实验调查在10年以后展开。[2,3]。在移相掩模(phase-shifting masks..不知道这个)问世以后[4],制造模型终被承认为研究中不可或缺的一部分。Levenson大幅度使用制造模型从而理解了移相掩模[5]。早期制造模型用制造模型计算Levenson的原创交替移相掩模的映像,然后展示了相位模板会增加劣质印刷的可能性。[6]同样的研究也通过制造模型而发现outrigger (or assist slot) phase mask(不会翻.. = =)的新概念。自从这些早期研究出现,制造模型的成果近乎被呈现在每张移相掩模的纸上。
变型照明技术这门技术,一开始根据制造模型的研究,来改善聚焦点的分辨率和深度的[7]。自那以后,这门技术被众人瞩目而且成为仿造术和众多实验的中心。

因为制造模型,人们开始议论可改变的数字光圈和可改变的带偏同调性的stepper(partial coherence stepper)的好处与功能。[7,8]。自从那以后,所有大型stepper供应商开始供应改变的数字光圈和可改变的带偏同调性系统。制造模型是用来完善这些灵活机械设施的最好工具。至今,用光瞳滤波器来增强平版印刷技术的工作性能却只出现在理论上,并伴有平版印刷制造模型的使用。[9]如果类似的研究可以用来证明光瞳滤波器的用处,对其的实验调查将会举行。

翻译的累死了。。不过长知识了。

薄膜体最优化是为了最大限度地减少阻力波,并降低微波变化过程中的敏感度,这些都是通过薄膜体变化而实现的(包括阻力波和BARC ,和一些其他的层片) 。就目前来说,完成所有这些目标最常见的方式是通过使用一种优化过的底部抗反射涂层。这一类优化图层具有以下几种功能 1 )优化BARC,
2 )优化胶膜厚度(但从摇摆曲线的角度来讲)
3 )解释了BARC,阻力层,薄膜体变化的敏感度
针对第一个功能,它具有以下两种不同的分类
1) 附着在金属上的BARC (吸光性底层),其目的是为了减少反射率(具有一定厚度的金属或其他类似情况的底部并不需要此类技术)
2) 氧化氮上的BARC(透光性底层, 其目的是为了减少本身物质对氧化物的敏感度(与此同时还能保持较低的反射率)
BARC可以从以下3个方面进行优化
1) BARC的厚度
2)实际上的折射率
3)理论上的折射率
举一个最简单的实际应用中的例子
有一个特定的BARC要求你优化它的厚度
图1(我不知道图一在哪。) 显示了底层基板对于两种不同(1.BARC 2.感光底层群组)的抵制膜(阻力膜)膜反射率的计算。这些反射率曲线显示了抵制膜(阻力膜)和BARC还有感光底层群组的一个特征--最低的反射率可以在第一次最小值的时候和第二次最小值的时候出现。
蚀刻和集成过程确定了可接受BARC厚度的范围。所以这些最小值倾向于首次最低BARC值或第二最低BARC值 。

目标电影栈优化,以最大限度地减少驻波在抵制,并减少
灵敏度的过程中,以电影栈变化(包括抵制和barc ,但其它层为好) 。由
目前最常见的方式,完成所有这些目标是通过使用一种优化的底部抗反射
涂层。当优化光刻工艺的反射率,有存在的基本任务是: 1 )优化barc ,
2 )优化胶膜厚度(从摇摆曲线的角度) ,以及3 )了解敏感性
barc ,抵制,和电影栈的差异。对于第一项任务,有两个班的barc问题:
• barc金属(吸收衬底) -目的是为了减少反射率(厚度的
金属或什么的底下不要紧)
• barc对氧化氮(透明衬底) -减少敏感,氧化层厚度的变化(而
还保持反射率低)
有三个barc参数可供优化:厚度的barc ,以及
实部和虚部,其折射率。最简单的用例, barc给出的目标是
只是为了优化其厚度。图1显示基板反射率的计算,两种不同的
抵制/ barc /基堆栈。这些反射率曲线显示的一个特征一
抵制/ barc /基栈:最低的反射率,可以在第一时间最少或在第二次
最低限度。酸蚀和过程集成的考虑确定的一系列可接受barc
厚度,因此,他们倾向于让首次最低barc或第二最低barc 。

倒,太专业化了。

请英语厉害的人给我翻译一下`
答:I haven't see you for a long time.What happened? Is there anything wrong recently? I miss you very much.With the new year coming near, I wish you to take good care of yourself. Remember: I will be right here waiting for you forever.2 我觉得和你做朋友以来真的好开心哦,...

求助英文翻译.英语猛的人帮我翻译
答:progressed from a curiosity, to a research and development tool, and finally to a manufacturing tool. While much has been published on new developments in lithography simulators and their use in advanced lithography development, less is published on how simulators have been used and 从...

请英语强悍的高人帮我翻译以下内容(中译英)
答:I am steady, do the matter to be steadfast, the rich intense sense of responsibility, has the good professional personal integrity. In school period has joined the Communist Party of China--Chinese Incumbent party. Value cooperation spirit...

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答:厉害,无敌,佩服!!!

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答:翻得我吐血..希望能帮到你。有些专业词不太确定,有注释 A.研究工具 自从仿平版印刷技术在1975年问世之后,制造模型(不确定这里的modeling是不是该这样翻)开始变成研究平版印刷的得力工具。以下是几个制造模型在早期对研究带来的帮助。制造模型曾被用来提倡以使用dyed photoresist,来减少驻波。[1]。对...

麻烦英语能力强的帮我翻译一下这几句话(中译英)!~
答:brought to mind by mistake.l am not care about those things any more.truth can't be different.leave me living alone till l leave in silence if that was the truth.when there is a setting sun,l hope for a daybreak;when there is a daybreak,l hope for a setting sun....

英语达人帮我翻译英文,拜托!!!
答:So, the world is really I am the only one left. But I'm afraid one person, really very afraid. You know that feeling? A man in the darkness of the struggle is not feel? How poor more miserable, I just want to keep some things, it is false, that no one hurt nobody...

英语高手请进,帮我翻译成英文,先谢谢各位大侠了!有加分。
答:the natural world, Tian Dan unlimited life and unlimited interpretation of a great significance; more people from beginning to end, it is a beautiful poem's Chant slowly, with a full of sadness, joy And death of human emotion with limited life provides detailed unlimited reverie....

需要超强的英语牛人帮我把下面的中文翻译英文
答:even if progress is well advanced bourgeois ideological education Klein had failed to shake off the secular moral prejudices. Tess in the wedding night expressed their unwed pregnant unfortunate events of the past, but not Klein's sympathy and forgiveness. Klein that she was "a liar ...

请英语高手帮我翻译几句句子~万分感谢~在线等
答:电脑的发明对科学的进步产生很大的影响(affect)The invention of computer has affected the advancement of science greatly.尽管他已经十八岁了他还是很少意识到与别人交流的重要性(realize)Although he is 18 years old, he seldom realizes the importance of communicating with others.人工翻译 ...

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