ICP刻蚀中的ICP是什么意思？
ICP是电感耦合等离子体的意思，是等离子体源产生方法中的一种，属于干法刻蚀
没有影响！但是如果气体足的话尽量不要开那么大，对传输管道的寿命有影响。
ICP的特气管道有三部分的 第一部分：气管瓶出口连接部分。第二部分特气传送部分。
第三部分为机器特气控制部分。
每一个部分都有开关，控制气流量的，有两个部分： 第一部分的减压阀，第三部分的气压控制阀。所以你的流量参数控制好就没事了。
ICP等离子刻蚀与普通等离子蚀刻有什么不同???
答：ICP是电感耦合等离子体的意思，是等离子体源产生方法中的一种，属于干法刻蚀
刻蚀机icp是什么意思?
答：刻蚀机ICP是指用电火花或激光等能量加工技术，将化学气相沉积的硬膜层、光刻胶等物质从基片表面去除的一种工具。ICP含义为“电离等离子体刻蚀”，即将气体中的气体离子、电子等削弱基片表面的物质。刻蚀机ICP在集成电路制造领域是一项非常重要的技术，可以用于制造微电子器件、半导体器件和光学器件等，同时也...
请教ICP和RIE有什么区别
答：RIE: 单一的射频源，无法实现适当刻蚀速率下的低损伤刻蚀，工作气压高，不利于控制刻蚀形貌，等离子体密度低，无法获得高刻蚀速率。ICP：两个独立的射频源，可以实现高速率和低损伤刻蚀，工作气压低，利于控制形貌，等离子体密度高。
icp在化学中是什么意思
答：ICPICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer) 电感耦合等离子光谱发生仪 电感耦合等离子体(ICP)是目前用于原子发射光谱的主要光源。ICP具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等分析性能. ICP还可以作为原子...
ICP刻蚀简析
答：ICP刻蚀简析1刻蚀简介2ICP刻蚀原理ICP刻蚀及检测31刻蚀：通过物理和/或化学方法将下层材料中没有被上层掩蔽膜材料掩蔽的部分去掉，从而在下层材料上获得与掩蔽膜图形完全对应的图形。光刻湿法刻蚀与干法刻蚀湿法刻蚀即利用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来去除薄膜未被光刻胶掩膜覆盖的部分，而达到刻蚀的...
icp是什么意思啊?
答：ICP是一种现代化的元素分析技术，用于测定各种物质中的微量元素。 以下是ICP的详细介绍：1. 仪器介绍 ICP（Inductively Coupled Plasma，感应耦合等离子体）是一种高温、高能量的非平衡等离子体，是一种广泛使用的元素分析技术。ICP与样品接触后，样品中的原子和离子将被加热并电离，然后进入等离子体中进行...
ICP是什么意思?
答：定量分析）。电感耦合等离子体(ICP)是目前用于原子发射光谱的主要光源。ICP具有环形结构、温度高、电子密度高、惰性气氛等特点，用它做激发光源具有检出限低、线性范围广、电离和化学干扰少、准确度和精密度高等分析性能.ICP还可以作为原子化器，如以空心阴极灯为光源，ICP为原子化器的原子荧光光谱仪.
ICP是什么意思?
答：ICP-MS ，全称Inductively coupled plasma mass spectrometry，指电感耦合等离子体质谱的意思。由ICP焰炬、接口装置、质谱仪组成。ICP-OES，是指电感耦合等离子体发射光谱仪，可用于地质、环保、化工、生物、医药、食品、冶金、农业等方面样品中七十多种金属元素和部分非金属元素的定性、定量分析。ICP-MS所用...
icp刻蚀和rie刻蚀的区别
答：而RIE刻蚀则是通过射频电磁场产生的等离子体与反应气体进行反应刻蚀。2、反应气体：ICP刻蚀常使用氟化物等气体作为反应气体，可以产生较高的刻蚀速率，而RIE刻蚀则会加入较大比例的惰性气体，如氩气，以稀释反应气体并降低电离程度，从而实现更精确的控制。
ICP测试是什么意思
答：ICP是发射光谱仪，icp发射光谱仪即电感耦合等离子体光谱仪，icp发射光谱法是根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法。icp发射光谱仪主要应用于无机元素的定性及定量分析。icp发射光谱仪主要用于微量元素的分析，可分析的元素为大多数的金属和硅、磷、 硫等少量的非...
